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真空泵種類的分類挺復(fù)雜的，基本可以分為氣體傳輸泵與氣體捕集泵。其中氣體傳輸泵分為容積式真空泵與動(dòng)量傳輸式真空泵（和鼓風(fēng)機(jī)有點(diǎn)像）。然后容積式中又有往復(fù)泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵（這個(gè)是個(gè)大類，下面又有油封泵，旋片滑閥都是油封泵，還有液環(huán)泵、羅茨泵、螺桿泵、爪泵、渦旋泵等）。動(dòng)量傳輸式中有分子泵、射流泵等，它們底下又有幾種，像渦輪分子泵、牽引分子泵，復(fù)合分子泵，噴射泵、擴(kuò)散泵。

氣體捕集泵主要就是吸附泵與低溫泵，底下也有很多小類，像濺射離子泵、升華泵、鈦泵、吸附阱、吸氣劑泵、冷凝泵、制冷劑低溫泵等等。

因?yàn)楦鞣N泵的原理材質(zhì)問題，工作壓力段不同，最簡(jiǎn)單的有些能在大氣壓下工作，有些就必須組成機(jī)組（像普通的羅茨泵、分子泵、擴(kuò)散泵等），不然無法啟動(dòng)。有些能抽大量水汽，像噴射泵、液環(huán)中的水環(huán)，但油泵就很麻煩，有些能抽一定的顆粒氣體，像一些干泵，但往復(fù)泵就不行。

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